中诺新材靶材产品加工工艺流程

原料备料：选取高品质原材料，部分选择进口料，以保证靶材品质。

粉末处理：合成，球磨，制粉，混粉。

烧结成型：冷压烧结、热压烧结。

材料检测：外观检测，致密度检测。

机加工成型：切割，磨床加工。

外观尺寸检测：检测成品外观及尺寸公差。

绑定焊接：金属化处理，焊接绑定。

清洗终检：产品经检合格后出具报告，真空包装，防潮、防摔、防震包装，入库。

出库运输：出库审验，附带成分检测报告，顺丰速递。

中诺新材靶材产品成分质量控制

原料成分分析：通过 ICP设备检测分析，杂质元素含量，确保纯度达标；通过XRD检测粉末成分，是否成相等情况。

外观尺寸检测：通过千分尺，精密卡尺，测量产品 尺寸，以确保符合图纸要求；通过表面清洁度仪测量产品表面光洁度及清洁程度。

探伤检测：通过探伤设备检测背靶，确保绑定层均匀，绑定率高。

中诺新材靶材产品应用领域及适用设备

适用设备：应用于各种单靶溅射系统，多靶溅射系统，离子溅射系统等磁控溅射设备

应用领域：科学实验或研究方面应用，微纳加工，器件制作等相关定制产品广泛用于半导体芯片、太阳能光伏 、平面显示、特种涂层等

国产品牌：北方华创、中科科仪、沈阳科仪、中电科、微电子所、南光机器厂、创世威钠、金盛微 纳、泰科诺等；

进口品牌：Kurt J.Lesker 爱发科、丹顿真空等

中诺新材靶材产品包装及保存说明

出库包装：内部真空袋真空包装，外部为定制产品靶材盒，纸箱快递运输

储存方法：收到产品后 ，需储存于干燥环境，密封包装，轻拿轻放，防压防撞

使用注意：使用前观察靶材表面是否清洁，带上干净的手套操作，避免直接用手接触物料，勿被油污等异物污染