一、二氧化钛靶材：特性出众，镀膜领域的“多面手”

二氧化钛靶材（TiO₂靶材）是以高纯度二氧化钛为原料，通过特定工艺制成的溅射靶材，是制备光学薄膜、功能涂层的关键材料。其核心优势在于：

1.高折射率 & 优异光学性能： 二氧化钛薄膜折射率高（~2.4-2.7，可见光范围），可显著提升器件的光学性能，广泛应用于增透膜、高反膜、滤光片等。

2.化学稳定性强： 耐酸碱、抗氧化，薄膜在复杂环境中也能保持性能稳定。

3.光催化活性： 锐钛矿型二氧化钛薄膜在紫外光下具有催化降解有机物的能力，可用于自清洁玻璃、空气净化等领域。

4.多样化应用潜力： 通过掺杂或工艺调整，可调控薄膜的电学、光学等性能，满足不同需求。

二、制备工艺：精度决定性能，技术壁垒高

二氧化钛靶材的制备工艺直接影响薄膜质量和性能，主流方法包括：

1.固相烧结法： 将高纯TiO₂粉末压制成型后高温烧结，工艺简单但靶材密度和均匀性控制难度大。

2.热等静压（HIP）法： 在高温高压下烧结，靶材致密度高、晶粒均匀，性能优异但成本较高。

3.溶胶-凝胶法： 可制备纳米结构靶材，但工艺复杂，量产难度大。

制备关键点： 纯度（≥99.99%）、密度（≥90%理论密度）、晶粒尺寸均匀性、无裂纹等缺陷。

三、应用领域：从传统光学到新兴科技，无处不在

1.光学镀膜： 镜头、显示器（AR/VR）、激光器、太阳能电池等，提升透光率、反射率或滤光性能。

2.自清洁涂层： 建筑玻璃、汽车后视镜等，利用光催化分解表面有机物。

3.电子器件： 电容器、存储器等，利用其高介电常数。

4.环保领域： 光催化降解水/空气中的污染物。

四、研究前沿

掺杂改性：通过氮（N）、碳（C）等元素掺杂拓宽TiO₂的光响应范围至可见光。

纳米结构：纳米管、多孔薄膜提升比表面积，增强光催化效率。

柔性器件：开发柔性基底上的TiO₂薄膜，用于可穿戴设备。