一、真空镀膜机镀工件白雾在内测，膜外白雾的成因较为复杂，可能的成因有：

1.膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙。

2.蒸发角过大，膜结构粗糙。

3.温差：镜片出罩时内外温差过大。

4.潮气；镜片出罩后摆放环境的潮气。

5.真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重。

6.蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀。

7.膜与膜之间的应力。

改善思路：膜外白雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善环境减少吸附的对象。

改善对策：

1.改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善镜片出罩时的环境（干燥、清洁）

2.降低出罩时的镜片温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应力。

3.改善充氧（加大），改善膜结构。

4.适当降低蒸发速率，改善柱状结构。

5.离子辅助镀膜，改善膜结构

6.加上polycold解冻时的小充气阀（其功能是及时带走水汽）。

7.从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。

8.改善基片表面粗糙度。

9.注意polycold解冻时的真空度。

二、真空镀膜机镀工件，白雾形成在膜内，无法用擦拭方法祛除，可能的原因：

1.基片脏，附着前工程的残留物

2.镜片表面腐蚀污染

3.膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配。

4.氧化物充氧不够。

5.第一层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象

6.基片进罩前（洗净后）受潮气污染

7.洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹

8.真空室脏、水气过重

9.环境湿度大

改善思路：基片本身的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本身最大的可能是膜料匹配问题。

改善对策：

1.改进膜系，第一层不用氧化锆。

2.尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。

3.真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。

4.改善环境

5.妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染。

6.改善洗净、擦拭效果。

7.改善膜匹配（考虑第一层用Al2O3）

8.改善膜充氧和蒸发速率（降低）

9.加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。

10.抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。