对真空腔体材料的主要要求如下：

1、一定的机械强度；

2、气密性好，不应是多孔结构，不能有裂缝、小孔以及能造成漏气的其他缺陷；

3、较低的出气率和渗透率；

4、在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸气压要足够低；

5、化学稳定性好，不易氧化和腐蚀，不与系统中的工作液体发生化学反应；

6、 温度稳定性好，在一定温度范围内能保持真空性能和机械强度；

7、加工容易，有较好的焊接性能；

真空设备常用壳体材料有两大类：金属和玻璃。

金属的优点是：机械强度好，容易实现高精度的加工。

玻璃的优点是：透明，便于观察设备内部情况，电绝缘，可对内部的金属零件用高频加热的方法除气，能用高频火花枪检漏，加工方便等。

玻璃的缺点是质脆易碎。