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沉积的薄膜有内应力来源

中诺新材 2020-08-28 12:00:00

沉积的薄膜有内应力的存在,他的来源原因:

(1)薄膜和基材之间的晶格失配;

(2)薄膜和基材之间的热膨胀系数差异;

(3)晶界之间的互挤.


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