溅射合金靶材需要满足纯度、致密度、晶粒度、表面光洁度等要求。其中纯度、致密度及晶粒度与靶材制备工艺直接相关。

　　金属合金制备通常采用的普通熔炼法。但钛铝合金的制备不适于采用该方法，主要原因如下：

　　(1)钛铝合金熔炼过程易形成多种金属间化合物，如Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等，这些金属间化合物的存在导致钛铝合金的加工脆性，特别是当合金中铝含量超过50％(原子比)，该问题尤为明显；

　　(2)熔炼工艺制备钛铝合金靶材，浇注过程中易产生气泡、疏松和偏析，造成合金中成分与组织不均匀，导致靶材品质不稳定。

　　根据国内外有关钛铝合金靶材的生产工艺研究报道，目前钛铝合金溅射靶材的主要制备技术有：强电流加热法、热等静压烧结法、热压烧结法。

　　强电流加热法：采用可获得大电流的装置，利用大电流使钛粉和铝粉发热，施以压力，使铝和钛自身反应形成钛铝合金靶材。

　　热等静压烧结法：该法将钛粉和铝粉进行混料，然后经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热等静压压制成型，最后进行烧结和加工得到钛铝合金靶材。

　　热压烧结法：该工艺使钛铝粉体在热和力的共同作用下烧结成型，利用Ti—Al混合物中铝的熔点低，将钛粉粘结在一起，形成合金溅射靶材。

　　热压烧结是钛铝合金溅射靶材最有潜力的制备技术。该技术工艺效率高，适合产业化生产。而用该技术制备钛铝合金靶材需反复试验，选择合适的脱模剂，提高成品率及模具的利用率，同时，需优化烧结热压工艺条件(烧结温度、升温速率、热压压力)，提高生产效率，从而降低成本。

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　　我公司生产靶材的工艺：通过金属熔炼，粉末冶金，非金属粉末方法运用真空熔炼，普通热压，冷压烧结等方法成型，通过锻造，热轧或冷轧，再经过热处理消除型材应力并使之均质化或通过高温烧结增加其致密性，然后再对处理过的型材进行车，铣，刨，磨等机加工过程，再清洗，烘干，完成最终产品。有时根据需要对某些靶材地面金属化后进行与无氧铜背板的绑定。最后经过超声波或者X光等检测，包装，出厂。

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