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电子束蒸发铝出现爬锅现象及对策

一、爬锅现象是指:电子束在石墨坩埚中蒸发铝时,未形成小锭状,而是沿着坩埚壁溢出。
二、出现爬锅现象的原因:铝的密度较小,电子束功率过大,且电流增加过快,导致爬锅现象发生。
三、针对爬锅现象的建议:控制功率大小与电流增加速度。电流缓慢增加,功率不要太大。