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陶瓷靶材背靶脱落原因及使用的注意事项

 

 

 

一、靶材背靶脱落的原因

1、溅射温度高,无氧铜易被氧化和发生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,造成背靶脱落;

2、电流太大,导热太快造成温度过高,焊料熔化,造成焊料不均匀,脱落;

3、循环冷却水出水口的温度应低于35度,循环水温度高,造成散热不好而脱落;

4、绑定的气含量;

5、靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。

二、防止背靶脱落的注意事项

1、溅射温度不宜太高

2、电流要缓慢加大

3、循环水应低于35

4、适宜的靶材致密度

 

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